Het steunpercentage bedraagt 25%  als de incubator een kmo is of als een strategisch onderzoekscentrum (SOC) of TechTransferdienst meerderheidsaandeelhouder is.

Het steunpercentage bedraagt 15% als de incubator een grote onderneming is in de zin van de Europese kmo-definitie.

De subsidie bedraagt maximaal 1.000.000 euro.